质子辐照对CMOS图像传感器传输栅损伤效应的实验与分析

摘要： 互补金属氧化物半导体图像传感器（CIS）是一种当前应用非常广泛的光电图像传感器，其应用在空间辐射环境中时遭受的质子辐照损伤问题一直备受关注。为了分析CIS内部重要结构受辐射损伤影响及辐照损失机理，开展了关于CIS传输栅的质子辐照实验，通过测试辐照前后转移特性曲线并提取阈值电压和饱和输出电流，总结CIS传输栅的辐照损伤实验规律。对常温下经过辐照后的CIS开展了退火测试，分析相关特... （共7页）