高重复频率192～300 nm连续可调谐超短脉冲激光器

摘要： 报道了一种高重复频率、宽波段连续可调谐的紫外/深紫外超短脉冲激光器，调谐范围为192～300 nm。该激光器采用可调谐的钛宝石锁模激光器作为基频光源，通过优化设计多级倍频/和频组合与非线性晶体角度，分三个波段进行频率上转换，分别产生了192～210 nm、210～250 nm、250～300 nm的深紫外/紫外激光，最终合成一路覆盖192～300 nm的连续可调谐超短脉冲激光，... （共7页）