ICF激光驱动装置用大尺寸激光薄膜元件

摘要： 大尺寸高功率激光薄膜元件是我国神光系列等大型激光装置中的关键元件，常采用电子束蒸发技术，在高质量光学玻璃基底表面，通过交替沉积两种或多种材料制备而成。典型的高功率激光薄膜元件需具有特定的光谱性能以满足激光系统的光束传输需求，优良的力学性能以最小化波前畸变，高的激光损伤阈值以保障高功率激光装置的安全稳定运行。基于大尺寸高功率激光薄膜元件的关键性能，在调研国内外相关研究工作的基础上... （共18页）