Ronchi剪切干涉仪高精度相位提取及误差分析

摘要： 双光栅Ronchi剪切干涉是一种基于瞳面测量的波像差检测技术，该技术具有无需参考面、共光路测量以及结构简单、易于集成等优点，适用于光刻投影物镜波像差的在线检测。相位提取是采用该技术进行波像差检测的重要步骤，直接影响最终的测量精度。针对双光栅Ronchi剪切干涉仪高阶衍射光影响相位提取精度的问题，提出了一种高精度的相位提取算法，可消除剪切干涉场中±1级衍射光重叠区域内高阶衍射光的... （共13页）