PVT法AlN晶体生长模式调控研究

摘要： 物理气相传输(PVT)法制备AlN晶体时，亚晶的产生会降低晶体质量，甚至多晶化。本文通过调节热/动力学生长条件，研究AlN晶体中亚晶产生及变化规律，提出抑制方法调控生长模式。实验结果表明，大的温度波动导致晶体表面气相物质过饱和度波动变大，增加高指数晶面的形成概率，这些晶面因非一致性难以实现完美聚并。本文还研究了稳定温场条件下，气相物质输运对生长模式的影响。实验及模拟结果显示，传... （共8页）