MOCVD生长ZnO薄膜的气相寄生反应路径研究

摘要： 本文利用量子化学的密度泛函理论(DFT),研究了金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长ZnO薄膜过程中二乙基锌(DEZn)与叔丁醇(t-BuOH)体系的气相寄生反应机理。通过计算不同温度下反应路径的Gibbs自由能变化，从热力学角度详细分析关键中间产物(HOZnOBu^t、H(ZnO)₂Bu^t、HZnOH)的水解及二聚物(Zn₂O₂H₄、Zn₂O₄H₄、Zn₄... （共12页）