Au修饰SnO₂薄膜兼容型高响应乙炔气体传感器研制

摘要： 为了实现变压器油中溶解的乙炔气体检测，研发了一款基于Au修饰SnO₂气敏薄膜的乙炔气体传感器。通过射频溅射制备SnO₂薄膜，进而通过直流溅射制备Au并改变溅射时间，得到不同Au修饰量的气敏薄膜，采用微机电系统(MEMS)工艺开发了基于气敏薄膜的乙炔气体传感芯片。对比纯SnO₂以及不同Au修饰量的SnO₂气敏薄膜的气敏性能，结果显示，基于20 s-Au修饰的SnO₂薄膜... （共10页）