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压电AlN MEMS的新进展

微纳电子技术页数： 25 2024-04-15

摘要： Si基微电子机械系统(MEMS)经过三十余年的发展已进入智能微系统的发展阶段，已成为当今MEMS技术创新发展的主流。当今半导体材料技术的科研已进入超宽禁带半导体的探索开发阶段，超宽禁带半导体AlN不但在功率电子学有较好的前景，而且AlN薄膜具有较好的压电性能，与CMOS工艺相兼容，压电AlN MEMS首先在手机应用的射频谐振器、滤波器方面取得突破，实现量产，近年来压电AlN M... （共25页）

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