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基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计

微纳电子技术 页数: 7 2024-04-09
摘要: 对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速度的高精度测量,采用不同周期的两组光栅进行双轴加速度检测,通过磁控溅射工艺将两组光栅结构沉积在质量块的不同区域,最终通过阳极键合方式实现该双轴MOEMS加速... (共7页)

微光机电系统(MOEMS)双轴MOEMS加速度计泰伯效应微纳光栅阳极键合

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