微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试

摘要： 提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计，通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化，使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度，同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受外界温度起伏影响，双层光栅结构间距受热膨胀系数的影响产生相对位移。为了减小由于温度起伏对光栅加速度计零偏的影响，采用温度闭环反馈控制技术将加速度计...