大高径比硅纳米阵列结构制作工艺及表面润湿性

摘要： 具有表面润湿特性的大高径比纳米结构在诸多领域有广泛的应用，如液滴的微流控输运等。然而，大高径比纳米结构的低成本制造具有一定的挑战性。为此，采用二氧化硅纳米粒子自组装制备的薄膜及线条阵列的掩蔽干法刻蚀工艺，通过调节Bosch工艺刻蚀步数，实现了高径比从2∶1至几十比一的硅纳米结构。以纳米粒子薄膜和纳米粒子线条阵列作为掩蔽层进行刻蚀制备的硅纳米阵列结构表面分别展示了各向同性和各向异... （共9页）