异质a-C:H/a-C:H:F配副的摩擦学行为研究

摘要： 目的 研究F元素掺杂非晶碳基薄膜与a-C:H薄膜摩擦配副的摩擦学行为机制。方法 利用PECVD法在Si基底上制备a-C:H:F薄膜，与直径为6.0 mm的a-C:H薄膜摩擦对偶球组成摩擦配副体系，使用往复模式的CSM TRB 3摩擦机研究a-C:H:F薄膜的摩擦学特性，频率为5 Hz，滑动总次数为9 000，外加载荷分别为2、4、6、8、10N。通过纳米硬度、X射线光电子能谱、... （共9页）