激光织构形状间距对单晶硅摩擦磨损特性的影响

摘要： 目的 提高单晶硅的减摩耐磨性能。方法 利用紫外激光在单晶硅试样表面刻蚀不同形状，间距为0.1、0.2、0.3mm，宽度为0.2mm的织构。基于MRTR-1摩擦磨损实验机，研究干摩擦条件下织构参数对单晶硅摩擦学性能的影响。利用光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)观察单晶硅表面织构的微观形貌和磨痕形貌，用电子天平称量实验前后试样的质量，并计算磨损率，通过Ansys有限元软件模拟仿真... （共13页）