基于自适应PI模型的压电陶瓷驱动器精密定位方法

摘要： 由于具备较高的定位精确度，压电陶瓷驱动器在超精密加工、微纳米测试等领域应用广泛，然而压电陶瓷固有的迟滞性严重影响其定位精确度。研究了驱动范围对压电陶瓷驱动器迟滞性的影响，实验得出迟滞性随驱动范围增大而显著。而在压电陶瓷驱动器的实际应用中，驱动范围是其主要的设置参数之一。为此，提出基于自适应Prandtle-Ishlinskii(PI)模型的拟合方法，根据不同驱动范围下获得的迟滞... （共8页）