直拉法单晶硅生长原理、工艺及展望

摘要： 碳达峰、碳中和理念提出后，太阳能作为一种可再生绿色能源备受关注。单晶硅作为主要的光伏材料，其质量决定着太阳能电池效率的高低，为了降低成本和提高产能，人们对单晶硅提出越来越高的要求。直拉法(CZ法)是单晶硅的主要制备方法，其生产效率高，可实现自动化，直拉单晶硅市场占比超过90%,目前正朝着大尺寸、N型、薄片化、低氧低碳的方向发展。然而随着晶棒尺寸增大，热场变化更加复杂，现有CZ工... （共13页）