氢燃料电池金属双极板表面TiC/a-C:H涂层的制备和表征

摘要： 研究沉积离子能量对沉积在氢燃料电池金属双极板表面的TiC/a-C:H涂层导电性和耐腐蚀性能影响。通过磁过滤真空阴极弧沉积技术以Ti靶为Ti源，通入乙炔气体在–100～–500 V基体负偏压下于SS 304不锈钢和单晶硅表面沉积了厚度为0.52～1.05μm的TiC/a-C:H复合涂层，研究分析了涂层的微观结构、涂层成分、相结构、耐腐蚀性能和导电性能的变化规律。结果表明，在–10...