GaN基异质结霍尔传感器封装测试与输出特性

摘要： 霍尔传感器作为磁传感领域最常用的传感器类型，在工业生产、汽车电子、航空航天以及生物医学等方面均有广泛应用.本文利用宽禁带氮化镓（GaN）半导体耐高温、高迁移率等优点，采用标准半导体芯片制造工艺研制出AlGaN/GaN异质结结构霍尔传感器.高温应用环境下的传感器要求封装材料耐高温、产生应力低以及对传感器关键指标影响小.本文通过软件仿真树脂橡胶类3种不同封装材料封装后对传感器及键合... （共9页）