多光谱硫化锌光学窗口离子束抛光工艺研究及参数优化

摘要： 多光谱硫化锌因其在近、中、远红外等多个光谱波段具有较高的光学透率，广泛应用于红外光学制导导引头、光电探测雷达、机载光电吊舱。为了获得超高面形精度的多光谱硫化锌光学元件，并提高离子束抛光效率，采用正交实验方法对硫化锌进行离子束单点刻蚀实验，获取各工艺参数下的去除函数特征量及体积去除率。通过对正交实验数据进行直观法分析和极差法分析，以体积去除率最大为目标进行工艺参数优化，获得的优化... （共9页）