多通道双晶单色器平行度测量与运动轨迹规划

摘要： 针对双转轮多通道双晶单色器的平行度误差补偿问题，提出一种基于光电自准直仪的多通道双晶单色器准静态双晶衍射面平行度测量方法以及一种S形曲线轨迹规划方法。分析多通道单色器的结构及运动特点，基于光电自准直仪提出多通道双晶单色器平行度测量系统的总体框架及测量具体流程。结合多通道双晶单色器运动特点，提出一种S形曲线轨迹规划方法，并基于平行度测量结果对单色器运动轨迹进行优化设计。最后，在搭... （共13页）