机器人抛光M-ZnS去除函数建模与工艺参数优化

摘要： 为研究M-ZnS在机器人抛光过程中的材料去除模型和优化参数组合，探究M-ZnS光学元件的高精度、低成本、批量化制造方案，采用有限元法和数值仿真法，对M-ZnS的机器人抛光材料去除函数模型进行修正。基于有限元法建立了抛光盘的压力分布模型，采用曲线拟合方法得到了压力分布函数。仿真模型和实验数据对比表明，去除函数模型与实验数据中心相对偏差小于8%，证实了修正去除函数模型的有效性。然后...