放电等离子体烧结结合高温热处理制备高强高导热氮化硅陶瓷

摘要： 采用放电等离子体烧结(SPS)结合高温热处理工艺，以α-Si₃N₄为主要原料、Mg Si N₂和Y₂O₃为复合烧结助剂制备出兼具高强度和高导热性能的Si₃N₄陶瓷，研究了SPS温度对Si₃N₄陶瓷致密化过程和热导率的影响，并分析了高温热处理温度对Si₃N₄陶瓷微观结构和性能的影响。结果表明，Si₃N₄陶瓷的致密度和热导率随着SPS温度的升高而提高，在1... （共8页）