气囊抛光蓝宝石弧面研究分析

摘要： 随着国防军工和LED产业发展，对蓝宝石衬底的需求和形状复杂度的要求逐步提升。蓝宝石传统抛光方式如化学机械抛光存在效率低、曲面加工效果不佳等问题，而气囊抛光作为快速抛光方式之一，适用于各种曲面的抛光，故将气囊抛光技术应用于蓝宝石弧面抛光。首先基于机器人平台建立抛光运动模型，随后通过单因素试验和正交试验得到较优工艺参数，最后在较优工艺参数下进行整弧面抛光并探究抛光时间对蓝宝石表面质... （共9页）