曲面硅电极五轴精密磨削工艺研究

摘要： 近两年出现了新型刻蚀技术，将半导体刻蚀用硅电极设计成曲面结构。而曲面硅电极的精度及粗糙度要求非常高，其生产都是在国外进行，具体工艺未知。研究出一套曲面硅电极高效、精密磨削方法。通过分析曲面硅电极零件，提出采用五轴磨削技术进行加工的工艺方案，使用五轴编程软件进行编程，采用具备机内自动化技术和数字仿真技术的五轴磨削中心，对曲面硅电极的磨削加工策略进行验证。结果表明：此项加工技术可提...