基于流量预测的波纹管泵流量脉动抑制控制方法

摘要： 随着晶圆内部线宽减小，在晶圆制造的湿法清洗工艺中对超纯水杂质颗粒的数量和直径提出了更严格的要求，以提高晶圆生产的产量，因此，对作为流控部件的波纹管泵(BsP)有更高的要求。针对波纹管泵运行过程中流量脉动导致的超洁净水颗粒杂质增加和晶圆良品率下降的问题，提出了一种基于神经网络流量预测模型的流量脉动抑制控制方法。首先，阐述了波纹管泵的工作原理和流量脉动产生的原因；然后，介绍了波纹管... （共8页）