像差预补偿的铌酸锂晶体内部激光直写（特邀）

摘要： 集成光电器件正由传统的二维构型向全空间维度发展，激光直写凭借其独特的三维加工优势在全维度光子芯片的发展中发挥了重要的作用。铌酸锂是近年来受到广泛关注的高性能光电材料，但由于界面间的大折射率失配引入像差，极大地影响了在铌酸锂晶体内部三维激光直写的精度。基于自适应光学原理的像差补偿技术可以对激光光束进行精确的波前控制，为实现聚焦光斑的像差校正提供了可行方案。针对铌酸锂内部进行三维激... （共7页）