薄膜铌酸锂片上集成多维复用光子器件（特邀）

摘要： 铌酸锂（LiNbO3）材料因其优异的电光、声光和非线性光学特性，被视为实现高性能集成光电子芯片的理想材料平台。近年来，随着晶圆级绝缘衬底上的铌酸锂（LNOI）薄膜的成功制备和微纳加工技术的突破，LNOI平台在大规模高速光电子器件集成方面已展现出显著优势。在高速调制器等基础通信器件已成功利用光电子集成技术实现的基础上，通过多信道并行传输数据以扩展链路容量的先进多路复用技术也受到广... （共21页）