薄膜铌酸锂光波导器件的研究进展（特邀）

摘要： 铌酸锂材料因其宽的透明窗口、成熟的波导制作工艺，以及优异的电光效应，在过去几十年中被广泛应用于制作高性能光波导电光调制器与电光开关。近年来，随着高质量薄膜铌酸锂的商品化，研究人员又开发了多种高性能的薄膜铌酸锂光波导器件，这些器件的性能已经远远超过了传统块状铌酸锂波导器件。本文主要梳理了近年来薄膜铌酸锂平台上的光波导、光栅耦合器、边缘耦合器、电光调制器及可调谐滤波器的研究进展，简... （共12页）