高质量碲镉汞双层异质结材料制备

摘要： 本文重点介绍了富汞垂直液相外延技术，在对该技术进行研究时，提出了一种温场优化方法和一种生长方法来提升材料质量和工艺稳定性。最后介绍基于双层异质结材料采用台面结器件加工等碲镉汞探测器组件制备方法，制备中波、长波和甚长波碲镉汞探测器组件的进展情况。 （共5页）