研磨压力对聚晶金刚石表面质量的影响

摘要： 使用金刚石平磨盘对聚晶金刚石（polycrystalline diamond,PCD）复合片的金刚石层进行高速研磨实验，研究研磨压力对PCD研磨去除率、表面粗糙度和表面形貌的影响。结果表明：当研磨压力为0.10～0.18MPa时，随着研磨压力的增大，PCD的研磨去除率增大，表面粗糙度减小。PCD研磨表面缺陷主要包括沿晶破碎、微小凹坑、机械划痕、微裂纹等，且随着研磨压力增大，研磨... （共6页）