晶圆校准器误差补偿与拟合算法的研究

摘要： 晶圆校准器作为半导体生产、检测中的重要设备，其圆心定位的精度容易受检测误差的影响，因此针对误差的补偿算法是提高晶圆校准精度的关键技术。针对检测误差中晶圆承载面倾斜影响采样精度问题，建立了晶圆倾斜后在水平面椭圆投影的物理模型，推导椭圆与晶圆圆心的解析关系，并采用相应的椭圆方程进行拟合。为了进一步提高补偿及拟合精度，提出了一种引入遗忘因子的扩展卡尔曼滤波的椭圆拟合算法，该算法采用密... （共10页）