三维桥式放大机构的柔性微定位平台的研究与改进

摘要： 在微定位平台的设计中，引入能够产生高位移放大倍数的三维桥式放大机构，并在此基础上引入了能够有效减少输出端寄生位移的四杆对称式导向机构，从而使所设计的微定位平台能够充分结合二者优势。根据应变能理论、卡氏第二定理、拉格朗日定理，建立该微定位平台的静动态数学模型，理论分析了平台关键尺寸对平台位移放大倍数的影响；并通过计算获得了最优参数下的放大倍数和固有频率，其值分别为19.90和19... （共8页）