基于多节点阵列结构的高精度薄膜温度传感器研究

摘要： 针对液压系统中的智能感知需求，提出一种新型微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)薄膜温度传感器，其具有微小体积的同时兼具较高的测温精度，可实现液压元件及系统中油液温度信号的精确感知。开发出基于高分子聚合物-金属-陶瓷材料的新型测温材料体系；提出一种多节点的三维阵列式电极结构。针对三维立体曲面高分子聚合物基底上的热电薄膜沉积难题，... （共9页）