平面光学元件超平整吸附装载的优化设计与分析

摘要： 在平面光学元件加工和应用中，采用真空吸附方式进行装载，具有快速、稳定的优势，而真空吸附对平面光学元件的面形影响不可忽视。基于有限元分析方法，针对功能窗口限制、倒立装载等特殊需求，对真空吸盘气道进行优化设计，并通过实验对真空吸盘的实际效果进行分析。实验结果表明，在吸盘不锁紧状态下吸附，平面光学元件在中心Ф10 mm、Ф20 mm和Ф40 mm范围内，面形PV分别为1.2 nm、5... （共8页）