双面研磨技术研究现状与发展趋势

摘要： 近年来，随着半导体、光学制造等领域的飞速发展，对晶圆、光学窗口及密封环等薄平板件的需求越来越大，加工质量要求越来越高。双面研磨具有加工应力小、效率高等优点，被广泛用于薄平板件的加工。为梳理双面研磨技术发展现状，重点综述了双面研磨的机理、工艺、应用及装备的最新研究进展；分析了双面研磨理论模型对工艺的优化效果，总结了双面研磨工艺的应用现状。此外，全面比较了行业内代表性厂家双面研磨装...