基于材料冲击特性的碳化硅超声磨削机理及亚表面损伤特征研究

摘要： 碳化硅是空间光学元件理想材料之一，但其磨削亚表面会产生较严重的面损伤，影响光学元件生产效率、性能发挥及使用寿命。为了更好地控制碳化硅超声磨削亚表面损伤，开展了超声辅助磨削数值仿真和试验研究，建立磨粒的运动轨迹方程，研究加工参数对运动学特性的影响规律，分析超声振动辅助对磨削过程材料去除的影响机理，讨论加工参数影响下的碳化硅超声磨削去除机理和亚表面损伤特征，建立亚表面损伤深度预测模... （共11页）