能量场辅助激光诱导等离子体加工透明硬脆材料的研究现状及发展趋势

摘要： 能量场辅助激光诱导等离子体加工技术是一种新兴的制造技术。基于传统的激光加工技术，通过引入热场、电场、磁场、化学场等能场进行创新，提高激光加工过程的可控性，不仅实现了透明硬脆材料纳米级甚至亚纳米级高精度制造，也有利于满足超精密制造的高质量、低损伤要求。从热场、磁场、电场、化学场分别具体阐述了不同的能量场辅助对激光加工技术的影响，通过分析激光机理和能量场辅助机理总结热场、电场、磁场... （共19页）