基于球柱状电流变工具的工件表面形貌演化机理研究

摘要： 在电流变液体特性基础上，开发一种球柱状电流变抛光工具，研究加工工件表面形貌演化机理。基于Preston方程和赫兹弹性接触摩擦理论，建立球柱状电流变工具的材料去除深度模型与工件表面轮廓演化模型。定点加工实验显示，工件表面轮廓线与理论预测下的轮廓线相近，换算成深度材料去除速率，最大偏差值为55nm/min。行进加工实验显示，理论计算轮廓在宽度和深度方向上与实际加工区域的测量尺寸接近...