氟等离子体对石墨烯纳晶碳膜的刻蚀加工及摩擦学性能调控

摘要： 针对石墨烯低摩擦特性在宏观应用中存在的机械强度低、磨损寿命短等问题，提出采用氟等离子体刻蚀加工调控石墨烯纳晶碳膜以提升其摩擦学性能。通过表征刻蚀加工对碳膜形貌和结构的影响，提出氟等离子体刻蚀加工机理包括原子去除和离子注入两方面。一方面刻蚀加工可通过物理轰击或发生化学反应去除碳膜表面原子，有效降低碳膜表面粗糙度。另一方面刻蚀加工可通过亚表面注入使碳膜表层结构重组，sp~3键含量增... （共11页）