电场驱动微尺度3D打印掩膜电解加工微结构

摘要： 针对目前掩膜微细电解加工掩膜制作工艺复杂、微结构加工精度差等问题，提出电场驱动微尺度3D打印掩膜与阴极振动脉冲电解加工新方法。充分利用微尺度3D打印高分辨率、掩膜灵活性的优势，实现聚乳酸(PLA)材料微米级掩膜的精确打印，结合阴极振动进给与脉冲电压同步控制的电解加工工艺，取得了较好的加工效果。研究微尺度3D打印掩膜工艺规律，建立了阴极振动与脉冲同步电解加工模型，仿真分析间隙动态...