633 nm热稳频He-Ne激光真空波长校准研究

摘要： 633 nm热稳频He-Ne激光是激光干涉测量技术中应用最广泛的波长标准光源。633 nm激光波长是几何量计量中最重要的溯源路径。该文分析了633 nm热稳频He-Ne激光的频率特性，并以此为依据详细探讨了633 nm热稳频He-Ne激光器真空波长的校准内容和校准方法。在激光平均波长测量和波长不确定度评定中均考虑了波长复现性产生的影响，给出了校准数据处理方法和不确定度评定示例。... （共6页）