基于4H-SiC的低横向灵敏度压阻式加速度计设计仿真研究

摘要： 文中基于4H-SiC设计了一种开槽式低横向灵敏度压阻式加速度计，通过分析支撑梁位置及开槽尺寸对加速度计性能的影响确定了相关结构参数，并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真，确定了该结构在600℃温度场中施加不同载荷时的理论电压输出。研究结果表明：该结构相较于已有的双端四梁结构X轴方向的横向灵敏度由3.3%降至2.6%,Y轴方向横向灵敏度由29.9%降至1.5%,传感器芯片... （共5页）