一种双L型梁电容式六维力传感器设计

摘要： 为设计一款高性能电容式六维力传感器，结合T型梁和十字型双直梁的优点，构建了一种双L型结构弹性梁，传感器转换元件采用差动结构平行极板电容器以降低传感器的测量误差，以转换矩阵的条件数为目标函数，应用粒子群算法与有限元仿真相结合的方法对该传感器的结构参数进行优化设计，得到最优结构参数后进行仿真，结果显示该构型的电容式六维力传感器仿真精度为0.425 8%。最后对该传感器进行加工与标定... （共7页）