N₂流量对CrAlYN涂层结构、力学及热稳定性的影响研究

摘要： N₂流量对CrAlYN涂层的结构和性能影响较大，因此，本文系统研究了N₂流量对CrAlYN涂层结构、力学及热稳定性的影响。结果表明，当N₂流量从23 mL/min增大到38 mL/min时，涂层中氮原子含量从26.45 at.%增加到52.20 at.%。当N₂流量为33 mL/min时，涂层中氮含量为49.00 at.%，元素组成符合化学计量比，涂层具有最高的硬度和抗... （共6页）