碳化硅陶瓷脉冲激光加工改性表面特征研究

摘要： 采用脉冲激光对碳化硅陶瓷进行加工，通过单因素实验探究激光功率、扫描次数、光斑重叠率等激光工艺参数对工件改性表面特征的影响规律。实验结果表明，当激光功率较小时，工件表面形成周期性的起伏沟槽，且随机分布着破碎凹坑；当激光功率逐渐增大时，工件表面逐渐出现崩裂的热致裂纹；表面粗糙度随激光功率的增大先减小后增大。当扫描次数较少时，工件表面结构较为浅薄、稀松；随着扫描次数的增加，工件表面形... （共5页）