空间载波技术最优系统误差的设计方法

摘要： 在光学面形检测领域中，利用空间载波相移技术可以实现对待测面形的快速、动态测量，而系统误差的引入一直是制约其精度的重要因素。针对此问题，提出一种自适应引入最优系统误差的方法。该方法对不同规格的待测镜引入不同的载波量，将系统回程误差控制在合理范围内，提升了空间载波面形检测的精度，其过程可概括如下：首先，预估待测镜PV值，平面镜默认为0.3λ,球面镜通过获取其曲率半径R和口径■,代入... （共8页）