膜片式液压微位移执行器设计与特性分析

摘要： 微位移执行器是实现高精度控制的关键装置，广泛应用于精密伺服系统、芯片生产以及超精密加工领域。针对传统微位移执行器结构复杂、输出力小、行程短等问题，提出基于帕斯卡原理的膜片式液压微位移执行器。首先，建立了复合载荷下执行器的力学模型，并采用逐次修正法推导了应力-应变的迭代求解式。其次，研究了执行器关键参数对执行器行程和应力的影响规律。在此基础上，建立了以材料强度和设计行程为约束的膜...