图案表面粗糙度对有机分子区域选择性生长的影响

摘要： 区域选择性生长(ASG),即有机分子在预图案表面上的自组装技术，在有机微/纳米图案化方面具有巨大的发展潜力。为了研究图案表面粗糙度在ASG中的明确作用，在粗粒化各向异性相互作用的动力学蒙特卡罗(KMC)模型中引入了无序强度参数描述图案表面粗糙度，进一步模拟了有机分子在不同表面粗糙度图案上的沉积行为。研究结果表明图案表面粗糙度会影响有机分子沉积形貌：表面越光滑，图案顶部生长的薄膜... （共6页）