可切换/可调谐MEMS谐振器综述

摘要： 多频段、多模式通信系统需要高精度、多频率可调、稳定可靠的时钟器件作为系统的频率参考源，这类器件直接影响了无线通信的整体性能。MEMS谐振器作为时钟器件应用于通信技术，具有高可靠性、高稳定性、低功耗等优点，特别是可调谐MEMS谐振器在具备单频谐振器的特点之外，还具有多频率、多模态可切换的特点。此外，谐振器还能够用于制作多波段滤波器、传感器、开关等器件，在射频(RF)通信、无线传感... （共6页）