腔体型超表面非制冷红外探测器

摘要： 随着非制冷红外探测器像元尺寸的逐步缩小，提高探测器吸收率变得越来越重要。该文章基于现有的制备工艺，提出了一种IMIAM(Insulator-Metal-Insulator-Air-Metal)腔体型超表面非制冷红外探测器结构，在增强探测器吸收的同时有效改善了光敏层受热的均匀性。通过系统的仿真优化，其在长波红外波段（8～14μm）的平均吸收率超过了97%，使器件几乎实现了百分百的... （共7页）