InGaAs/InP单光子雪崩光电二极管中锌的双扩散行为与器件性能关联性研究（英文）

摘要： InGaAs/InP单光子雪崩二极管（SPAD）研制需要采用两次元素扩散方法，以实现对倍增层厚度以及电场分布的精确控制。针对两次扩散深度的有效预测问题，围绕InGaAs/InP SPAD中锌原子的两次扩散行为开展了仿真分析和器件研制。基于二维模型拟合模拟的两次扩散深度，建立了预测扩散深度的公式■。利用扫描电子显微镜和二次离子质谱表征器件双扩散区的二维杂质形态和一维杂质分布，制备... （共8页）